THK在半导体制造的高效解决方案案例
现代电子芯片的尺寸正在迅速缩小,而半导体元件的填充量持续增长并且带有大量信息。如今,半导体制造商能够将数十亿个晶体管挤压成一个“指甲大小”的IC。半导体制造商需要能够以最高精度抛光,切割和定位这些微型元件的机器和机构。为了满足这些要求,THK提供以下有效解决方案:
用于抛光LCD面板玻璃基板边缘的装置:LM系列的紧凑型滚珠丝杠THK带有球形分离器,可在抛光汽车导航系统和移动设备的LCD面板的玻璃基板时确保这些装置的工作元件的高效和平滑的线性运动。详情咨询thk导轨官网客服。
用于运输LCD面板玻璃基板的输送设备:线性导轨THK LM系列和线性执行器的组合系统使您能够以最高精度快速移动玻璃基板长距离。
用于LCD测试装置的坐标表:LM系列和THK滚珠丝杠的高精度直线导轨提供有效的运动控制和大面积LCD面板基板的定位,即使目前的尺寸显着增加。
用于切割半导体晶片的装置:LM系列的线性运动系统和THK滚珠丝杠对提供用于微电路的半导体芯片切割设备的工作元件所需的最高精度的移动和定位控制。
此外,半导体产品的生产应在环境清洁度最高的洁净室中进行,线性置换系统中使用的THK球分离器技术可有效防止悬浮颗粒,灰尘颗粒和其他污染物落入这些场所的空气中。这些功能系统。